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Single crystal furnace 單晶爐
單晶爐是軟軸提拉型晶體生長設(shè)備，在低于常壓的惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器加熱，將填充在石英坩堝內(nèi)的多晶硅材料熔化，用直拉法生長無位錯的高質(zhì)量單晶設(shè)備。目前可生產(chǎn) CZ160 型及以上單晶爐設(shè)備。
防護設(shè)施
液面檢測、掉棒保護等系統(tǒng)功能爐蓋護板、管道防爆護板、水冷屏泄壓閥等安全配置
可選配置
集中監(jiān)控方面，方便 CCD 巡檢，WEB 可視化生產(chǎn)看板，可根據(jù)客戶要求訂制。
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